连续式磁控溅镀设备-垂直(倾斜)镀膜型
- 产品特色:
- 电浆清洁制程与镀膜制程结合,双制程合并架构.
- 倾斜7度角进行镀膜与台车传送,无须对基板做挟持可全基板镀膜.
- 台车上方采非接触式(磁浮)设计,下方采摩擦杆配合真空磁流体稳定传送.
- 缩短台车间距,增加靶材镀膜利用效率.
- 基板可全面镀膜与低PARTICLE 制程优势.
- 可配合自动化取放片与CIM全厂规划.
- 作业平台建立,方便设备保养维护.
- 客制化镀膜有效区与规格架构,满足产业制程需求.
- 制程与产业:
- 金属溅镀制程 / 反应式溅镀制程 / 氧化物镀膜制程
- TFT-BSITO镀膜 / 太阳能光电镀膜 / 漾色镀膜 等产业.
- 产品图库:
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