光学实时产品监控系统

產品分類： ALD 原子层镀膜系统, 真空设备

开发直接式光学监控系统: 直接监控产品光谱.
开发薄膜设计转文件程序 (DESIGN TO MACHINE, D2M): 自动选择监控波长.
智能自动化光学监控系统: 自我补偿程序 (光学常数拟合以及实时设计优化)

1. 金属蒸镀镀膜设计编辑功能

读取薄膜设计档 (MACLEOD)
自动选取监控波长
切点方式选择判断
光学常数拟合软件2.镀膜控制功能
- - PLC沟通功能
  - 自动镀膜控制程序
  - 续镀和补镀功能
2.切点监控方法
- - 时间监控法能
  - 转折点拟合监控法
  - 比例监控法

卷对卷RTR溅镀设备

光学枚叶式蒸镀设备

电浆清洁设备

双电子束蒸镀设备