批次ALD(原子层)镀膜设备
批次ALD(原子层)镀膜设备
- 產品分類： ALD 原子层镀膜系统, 真空设备
- 产品特色:
- 平面单片/卡夹多片之LOAD-LOCK CST IN/OUT 高产量制程设备.
- 加热与电浆化学气相沈积双镀膜方案,可获得高均匀性与保型性的超薄薄膜.
- 100% 保型,精确的厚度控制,优良的均匀性规格.
- PE MODEL 适合制程温度低
- 可运用于迭层或复合层膜层设计
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