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电浆清洁设备
iRP
產品分類:
A-4
,
电浆清洁系统
,
真空设备
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光学枚叶式溅镀设备
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产品特色:
单腔批次式架构的电浆清洁设备。具有高效率、高质量、低营运成本之特性。
使用射频(RF)电源,控制方便操作简易。
具有自动压力控制系统(APC system),精准控制制程压力。
可同时具备多种电浆源(ICP/RIE/PE)。
制程与产业:
LED/半导体/工业界/被动组件/光学组件/。
表面清洁/去除残余光阻(DESCUM)/薄膜去除/ Wire/(Die) Bonding前处理。
产品图库:
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