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雷射(激光)光学蒸镀设备

  • 产品特色:
  • 机台适合学研界及产业界使用
  • 芯片尺寸为2~8吋芯片使用
  • 基板具有真空翻面镀膜功能,翻面稳定性佳
  • 客制化机台设计,可以依照客户要求设计
  • 具有离子圆助镀的功能
  • 可以依照客户需要加装光学监控功能
  • 制程与产业:
  • 光学蒸镀制程 / Laser Bar蒸镀制程
  • AR/HR 光学多层数膜蒸镀制程
  • Laser Bar AR/HR 多层数光学蒸镀制程
  • 学研界研究机台
  • 产品图库:
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