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电子束+热阻式蒸镀设备

  • 产品特色:
  • 机台适合学研界及产业界使用
  • 芯片尺寸为2~8吋芯片使用
  • 电子束及热阻式 蒸发源镀膜可以依照制程切换使用
  • 电子束及热阻式 蒸发源镀膜可以依照客户要求在中央位置
  • 或是分居在腔体两侧位置
  • 可以精密监控镀膜速度及厚度
  • 客制化机台设计,可以依照客户要求设计
  • 市场占有率高
  • 真空度抽气速度快,提升机台产能速度
  • 可以依照客户需要做电浆清洁制程或离子清洁制程.
  • 制程与产业:
  • Au-Sn合金蒸镀制程 / 厚度不同的金属电极 切换镀膜
  • LED 电极金属-合金镀膜 / 电子组件构装镀膜/
  • 学研界研究机台
  • 产品图库:
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