
电子束+热阻式蒸镀设备
- 产品特色:
- 机台适合学研界及产业界使用
- 芯片尺寸为2~8吋芯片使用
- 电子束及热阻式 蒸发源镀膜可以依照制程切换使用
- 电子束及热阻式 蒸发源镀膜可以依照客户要求在中央位置
- 或是分居在腔体两侧位置
- 可以精密监控镀膜速度及厚度
- 客制化机台设计,可以依照客户要求设计
- 市场占有率高
- 真空度抽气速度快,提升机台产能速度
- 可以依照客户需要做电浆清洁制程或离子清洁制程.
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