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单腔批次式磁控溅镀设备
產品分類:
真空设备
,
真空连续式溅镀系统
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LOAD-LOCK批次连续式磁控溅镀设备
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产品特色:
电浆清洁制程与镀膜制程结合,双制程合并架构.
可规划立式滚桶镀膜/水平滚桶镀膜之单/双面镀膜架构.
前置作业区由人员取放片与CIM全厂规划.
可采开腔门或垂直平躺靶源,方便设备保养维护.
客制化镀膜有效区与规格架构,满足产业制程需求.
制程与产业:
金属溅镀制程 / 反应式溅镀制程 / 氧化物镀膜制程
主被动组件镀膜等产业.
产品图库:
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