一、真空数值侦测器：

厂牌：

ULAVC、INFICON、MKS

种类：

Pirani 、Batabron 、Cold Cathed、Hot filament ionization 等。

二、电子束蒸发源：

厂牌：

ULVAC、JEOL

型号：

EGL-35M、EGL-206/406M、EGN-406M、EBG-203U

二、电子束蒸发源更换部件：

厂牌：

ULVAC、JEOL

项目：

Hearth、Heartg Deck、Filament、Emitter Assembly、Anode Plate 、BeamForm等

三、各式溅镀源及离子源贩售及安装规划：

四、石英式膜厚侦测器新品：

五、石英式膜厚侦测器更换部件：

1.石英振荡片(Quartz Crystal) ：

5MHZ(Au/Sliver coating、Dia 0.49”)，6MHZ(Au/Sliver coating、Dia 0.55”)

2.讯号传导导线：

Internal Cable、Auxiliary Cable、External Cable 等

六、各式大电流、高电压及讯号真空导入：

七、客制化各式真空用部件