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光学枚叶式溅镀设备

枚叶式溅镀镀膜设备

  • 产品特色:
  • 适合于半导体WAFER 光学制程产业, 搭配EFEM / LOAD PORT执行自动镀膜无人工厂全自动生产方案
  • 金属镀膜+ICP 氧化/氮化之META 制程设计,提高镀率,高产出量.
  • 可自动化上下片与CIM全厂规划.
  • 前开腔门式空间大,方便设备保养维护.
  • 客制化镀膜有效区与规格架构,满足产业制程需求.
  • 制程与产业:
  • 金属溅镀制程 / 氧化物溅镀制程 / META PROCESS
  • 半导体光学镀膜 / 光学FILTER镀膜 / 漾色镀膜等产业.
  • 产品图库:
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