厂务特气盘面及管路改造工程

厂务特气盘面及管路改造工程

  • 气体管路规划设计施工
  •  制程化学管路设计施工
  •  HV/LV真空管路规划设计施工 厂房EXHAUST排气设计施工
  •  化学供应系统设计施工
  • 气体/化学VMB/P设计制造
  • 厂房气体侦测监控系统规划施工(GMS)
  • 气体用高洁净调压阀Regulator (AP-TECH…) / 气动(隔膜阀) VALVE Parts 贩售
  • 化学用药液阀 气动阀 VALVE Parts / Filter 贩售
  • Heating Jacket System (CVD/Pumplin加热保温) 设计施工
  • 地震仪Seismograph系统设计施工