电子束蒸镀设备

  • 机台适合学研界及产业界使用
  • 芯片尺寸为2~8吋芯片使用
  • 产业界产能高
  • 基板水冷机构,可以使用在低温基板制程
  • 客制化机台设计,可以依照客户要求设计
  • 市场占有率高
  • 真空度抽气速度快,提升机台产能速度
  • 可以依照客户需要做电浆清洁制程或离子清洁制程.
  • 金属蒸镀制程 /氧化物蒸镀制程 / Au/Sn等合金蒸镀制程
  • LED 电极/ITO 氧化物/ MOSFET 电极/
  • 三代半导体电极镀膜/学研界研究机台