雙電子束蒸鍍設備

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廠務特氣盤面及管路改造工程

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首頁 / 廠務特氣盤面及管路改造工程 氣體管路規劃設計施工 製程化學管路設計施工 HV/LV真空管路規劃設計施工 廠房EXHAUST排氣設計施工 化學供應系統設計施工 氣體/化學VMB/P設計製造 廠房氣體偵測監控系統規劃施工(GMS) 氣體用高潔淨調壓閥Regulator (AP-TECH…) / 氣動(隔膜閥) VALVE Parts 販售化學用藥液閥 氣動閥 VALVE Parts / Filter 販售 Heating Jacket System (CVD/Pumplin加熱保溫) 設計施工 地震儀Seismograph系統設計施工

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電子束+熱阻式蒸鍍設備

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電漿離子源蒸鍍設備

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電子束蒸鍍設備

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雷射(激光)光學蒸鍍設備

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水平連續式濺鍍設備

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卷對卷RTR濺鍍設備

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連續式磁控濺鍍設備-垂直鍍膜型

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連續式磁控濺鍍設備-垂直(傾斜)鍍膜型

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往復式磁控濺鍍設備

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枚葉式濺鍍設備

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單腔批次式磁控濺鍍設備

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LOAD-LOCK批次連續式磁控濺鍍設備

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枚葉式蒸鍍鍍膜設備

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光學即時產品監控系統

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光學枚葉式濺鍍設備

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電漿清潔設備

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批次ALD(原子層)鍍膜設備

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