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卷對卷RTR濺鍍設備

  • 產品特色:
  • 電漿清潔製程與鍍膜製程結合,雙製程合併架構.
  • 可規劃隔離子腔設計滿足多種濺鍍製程共存一機架構.
  • 配合產品製程需求可單/雙面鍍膜架構.
  • 吊掛式上下料捲機制與CIM全廠規劃.
  • 可採全開腔門平躺靶源,方便設備保養維護.
  • 客制化鍍膜有效區與規格架構,滿足產業製程需求.
  • 製程與產業:
  • 金屬濺鍍製程 / 反應式濺鍍製程 / 氧化物鍍膜製程
  • 光學鍍膜 / 固態電容鋁箔鍍膜 / 漾色鍍膜 / PET銅膜 鍍膜等產業.
  • 產品圖庫:
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