水平連續式濺鍍設備
連續式磁控濺鍍設備-水平鍍膜型
- 產品特色:
- 電漿清潔製程與鍍膜製程結合,雙製程合併架構.
- 台車左右跨軌道,配合摩擦桿與真空磁流體穩定傳送.
- 縮短台車間距,增加靶材鍍膜利用效率,可上/下同時鍍膜
- 可配合自動化取放片與CIM全廠規劃.
- 作業平台建立,方便設備保養維護.
- 客制化鍍膜有效區與規格架構,滿足產業製程需求.
- 製程與產業:
- 金屬濺鍍製程 / 反應式濺鍍製程 / 氧化物鍍膜製程
MINI LED 鍍膜 / MICRO LED 鍍膜 / 太陽能光電鍍膜 / 主被動組件鍍膜 / 漾色鍍膜 / EMI 鍍膜等產業.
- 產品圖庫:
- 相關商品: