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電子束+熱阻式蒸鍍設備

  • 產品特色:
  • 機台適合學研界及產業界使用
  • 晶片尺寸為2~8吋晶片使用
  • 電子束及熱阻式 蒸發源鍍膜可以依照製程切換使用
  • 電子束及熱阻式 蒸發源鍍膜可以依照客戶要求在中央位置或是分居在腔體兩側位置
  • 可以精密監控鍍膜速度及厚度
  • 客製化機台設計,可以依照客戶要求設計
  • 市場佔有率高
  • 真空度抽氣速度快,提升機台產能速度
  • 可以依照客戶需要做電漿清潔製程或離子清潔製程.
  • 製程與產業:
  • Au-Sn合金蒸鍍製程 / 厚度不同的金屬電極 切換鍍膜
  • LED 電極金屬-合金鍍膜 / 電子元件構裝鍍膜/
  • 學研界研究機台
  • 產品圖庫:
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