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雙電子束蒸鍍設備

  • 產品特色:
  • 機台適合學研界及產業界使用
  • 晶片尺寸為2~8吋晶片使用
  • 雙電子束蒸發源鍍膜可以調配兩者鍍率及合金比例
  • 雙監控端子可以精密監控鍍膜速度及厚度
  • 客製化機台設計,可以依照客戶要求設計
  • 市場佔有率高
  • 真空度抽氣速度快,提升機台產能速度
  • 可以依照客戶需要做電漿清潔製程或離子清潔製程.
  • 製程與產業:
  • 合金蒸鍍製程 / 大厚度的金屬電極切換鍍膜
  • LED 電極/蕭基特二極體 金屬鍍膜 / 電子元件構裝鍍膜/
  • 學研界研究機台
  • 產品圖庫:
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